SJ6000机床设备激光干涉仪

SJ6000机床设备激光干涉仪具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度精度的测量。同时可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。

产品参数

稳频方式：双频激光热稳频

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

测量分辨力：1nm

动态采集频率：50KHz

预热时间：≤6分钟

工作温度范围：（0-40）℃

环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

中图仪器SJ6000机床设备激光干涉仪采用高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、激光干涉信号处理系统、计算机控制系统技术，实现各种参数的测量。

特点

1.测量精度高、速度快，稳定性好；

2. 应用范围广；

3.软件界面友好；

此前，国产与国外的产品有着一定的差距。SJ6000机床设备激光干涉仪的上市降低了企业的检测成本。中图仪器以技术实力为依据，在测量精度、测量速度、测量类型等方面为用户提供了更多选择。